1亿元金额的一台光刻机成功中标，其分辨率低于110nm

12月25日有消息称，国产光刻机的发展一直牵动着众多人的心弦，其每一步进展都极易成为关注焦点。今日，采购网站上清晰显示出上海微电子中标光刻机项目的相关信息。

在中国政府采购网上编号为zycgr22011903的采购公告显示，科技部通过单一来源采购方式购置了一台步进扫描式光刻机，该采购项目的中标金额约为1.099亿元，中标供应商为上海微电子公司，所采购货物的型号为SSC800/10。

到目前为止，该中标公告仍处于公示状态，不过其详情页面已无法正常访问。

上海微电子的SSC800型号此前未曾公开，有印象的网友或许还记得前两年网络上曾流传过SSA800型号，当时称其为一台28nm光刻机，SSC800型号与该系列或许属于同代技术产品。

不过严格来讲，“28nm光刻机”这一表述其实是错误的，至少可以说是不够准确的。因为光刻机单次曝光所能达到的分辨率并没有这么高，就像SSC800的分辨率是110nm，其套刻精度为15nm。

2024年9月，工信部发布了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，其中涉及两种氟化氩光刻机，二者光源均为193纳米；不过，浸润式型号的分辨率≤65nm、套刻精度≤8nm，干法型号的分辨率≤110nm、套刻精度≤25nm。

这次上海微电子中标的机型大概率是干法光刻机，并非外界普遍期待的那种性能顶尖的产品。