阿斯麦EUV光刻机达成纳米孔全晶圆级制备，助力分子传感技术进步

12月22日消息，比利时微电子研究中心（IMEC）借助阿斯麦（ASML）最先进的极紫外光刻（EUV）设备，成功完成了纳米孔的全晶圆级制造。阿斯麦公司公关负责人将其视为自家设备“在生物医学领域一项意外的卓越应用”。由于纳米孔为分子传感技术带来了广阔前景，这一突破有望成为该领域的重要进展。

IT之家了解到，纳米孔的特性在生物医学领域有着很高的研究价值。从名称就能大致推断出，纳米孔其实是一种微小的孔道，其直径只有几纳米左右。要是用更易懂的说法来解释：这种孔道的直径差不多是人类头发丝的万分之一。

这样微小的孔道能派上什么用场呢？依据分子和纳米孔之间的相互作用机制，它可以应用在生物医学传感器领域。纳米孔检测技术的核心原理是这样的：

测量通过纳米孔的离子电流。

当分子通过孔道时，会引发电流出现波动，这种波动的特征能够体现出分子的大小、结构、电荷特性以及相互作用的形式。

凭借这种独一无二的电信号特性，我们便能够以极高的灵敏度辨别各类不同的分子。

通过这种方式，利用极紫外光刻技术制作的纳米孔，能够成为生物医学传感中的“分子关卡”，从而完成对病毒、蛋白质、脱氧核糖核酸（DNA）等单个分子的检测和识别。这一特点对于分子的精准鉴定与分析来说极为关键。另外，比利时微电子研究中心提到，改变固态纳米孔的尺寸，还可以扩展它在过滤技术和分子数据存储领域的应用范围。

为什么要引入极紫外光刻设备呢？目前的纳米孔制备手段普遍存在制备速度迟缓、只能在实验室环境中开展、成本居高不下等问题。而比利时微电子研究中心发布的论文显示，他们已经成功在完整的300毫米晶圆上，制作出直径最小可达10纳米左右、均匀性出色的纳米孔。这一同时具备量产潜力、高精度和可重复特性的技术突破，或许能打破纳米孔传感器技术长期无法实现实际应用的僵局。